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真空泵与真空系统设计制造商

nEXT300涡轮分子泵

技术参数单位nEXT300
入口法兰"DN100 ISO-K or DN100CF
入口抽速l/s300
压缩比(D or T)">1×1011
中间级抽速l/s13
排气口/中间级接口/增压口"NW25
放气/吹扫口"1/8"BSPP
临界前级压力mbar9.5
最大连续入口流量(水冷)sccm95
最高允许入口法兰烘烤温度(仅CF、水冷)120
最大允许连续前级压力(水冷)mbar6.8
前级泵推荐"RV12/nXDS10i
额定转速rpm60000
到90%速度的启动时间D(T)s145(190)
噪音dB(A)<45±3
重量D(T)ISOKg5.7(6)
重量D(T)CF8.5(8.8)

nEXT300涡轮分子泵.png

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