分子泵是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子,使之获得定向速度,从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵。由于简式牵引泵型线沟槽开在转子圆柱外表面或泵体内表面上,因此雅之雷德机电科技可以充分利用圆柱外圆较高的线速度对气体分子进行动量传递,提高泵的抽气效果。
由于涡轮级有较大的抽气面积,抽速很大,而牵引级沟槽抽气面积较小,在两种结构的联接处,由涡轮叶片压缩下来的气体分子的流动方式突然转变,使气体分子的运动在联接处由有序变成无序,至使返流增加,抽气能力下降。
1常见应用
分析(质谱分析、电子显微镜等)
半导体(电子组件、集成电路、柔性太阳能电池等)
乐发vll光学/玻璃(热保护,增透、反射、光学滤光膜)
镀膜(表面保护,装饰涂料,显示器,屏幕)
真空冶金(真空炉、真空钎焊、真空烧结、真空合金、)
泄漏检测(真空系统、车辆的油箱,安全气囊
研究实验(医学核磁共振成像、核粒子物理,核聚变研究,激光应用和许多更多)
灯生产行业及相关
2工作条件
转子转速达到20000r/min,故分子泵启动时间较长。
气体处于分子流状态,故需要配备前级泵,一般使用好凯德旋片泵作为前级泵。
3特点
油润滑分子泵:润滑油量小,且在前级真空段,对真空室污染小。
脂润滑分子泵:油脂量极小,前级配干泵可获得近似无油的清洁真空。
全磁悬浮分子泵乐发vll:无须润滑,与干泵一起使用,可获得无油的清洁真空环境。
乐发vll附:真空泵最佳工作范围
泵种类 | 油封机械泵 | 水蒸汽喷射泵 | 罗茨泵 | 油增压泵 | 油扩散泵 |
最佳工作范围(Pa) | 105-10 | 105-102 | 102-1 | 1-10-1 | 5*10-2-10-4 |
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