化学工艺的持续发展，特别是在半导体和太阳行业中，对所用罗茨真空泵乐发vll不断地提出新的要求。基于多级罗茨泵的可靠技术，雅之雷德机电科技为这些行业领域中的苛刻工艺提供完美的解决方案。与先前泵解决方案相比，过程压力下的气体吞吐量、粒子耐受性和耐冷凝性已显著提高。

与用于一般工艺系列泵一样，用于苛刻工艺泵配备了温度控制和惰性气体冲洗系统。但是，用于优化工艺调节的参数范围比用于一般工艺系列泵更广。

乐发vll该泵系列是采用了该系列的另外三个型号并辅以罗茨泵用于过程压力范围内提高了的抽速和气体吞吐量。由于使用了特殊材料，这些泵的腐蚀性气体设备使其还可使用强氧化剂，如 NF3。该泵广泛的温度范围使其能够适应各种不同的工艺，如低温下的钨沉积或高温下的氮化物沉积。高效的电机产生低压力下的能源节约，并因其高扭矩，在泵停机后提供良好的启动性能。

得益于它们相同的接口和相同的介质连接，用于苛刻工艺系列型号可与用于一般工艺系列泵理想兼容。这意味着，如果现有生产设备上发生工艺改变，通过更换泵，使用最小的安装工作就可获得优化的泵解决方案。

使用第三级罗茨辅助苛刻工艺泵型号，可提供紧凑、极其强大的泵站，具有最大抽速，适合于 CVD 工艺。在空运行流程泵上采用变频控制的罗茨泵，罗茨泵在其本身的框架内具有额定抽速 4,500 m3 · h-1。由于模块化结构，安装很容易，且泵站中的各个泵可单独取出，并在维修工作进行的情况下进行保养。进气侧的罗茨泵变频器允许在广泛的气体吞吐量范围对过程参数进行调整，并允许各种不同的过程气体。

雅之雷德机电科技不断监测行业各个领域中工艺的动态发展，并在未来将继续提供优化的泵解决方案以满足这些需求。

多级罗茨泵的优势包括：

乐发vll通过调节温度、净化气体吞吐量和转速对相关真空工艺进行理想的调节

乐发vll在气体置换区域没有润滑剂

无工作液处理问题

高可靠性和系统正常运行时间

长维修间隔、低能耗和冷却水与冲洗气体介质消耗低，因此具有较低的拥有成本

乐发vll占用空间小，在洁净室和泵级别中具有良好的集成性和节约性

乐发vll丰富的控制选项，本地或远程控制，集成在一个监控网络中

最小泄漏率

在腐蚀性工艺中是涡轮分子泵和罗茨真空泵理想的前级泵

乐发vll认证符合 UL/CSA 和 SEMI S2 要求